臨澤縣古為雍州屬地。

周、秦時期烏孫、月氏駐牧。

西漢時期為匈奴牧地。西漢武帝元鼎六年(公元前111年)，建河西四郡。縣境設(shè)昭武縣，因境內(nèi)月氏駐牧?xí)r筑昭武城，漢縣因之，故名，隸于張掖郡;始建國元年(公元前9年)，王莽廢漢立新，改昭武縣為渠武縣;東漢建武五年(29年)，復(fù)改渠武縣為昭武縣。

三國屬魏。

晉武帝泰始元年(265年)，避司馬昭諱改昭武縣為臨澤縣;安帝隆安元年(397年)，以臨澤縣地置臨池郡(治臨澤);隆安五年(401年)，廢臨池郡。

北魏太平真君十年(449年)，縣地并于永平(今張掖)縣，臨澤縣置撤銷。

唐代宗廣德二年(764年)，吐蕃據(jù)甘州，縣境屬吐蕃;懿宗咸通十三年(872年)，被回鶻占。

宋為西夏所據(jù)。

元屬甘州路。

明為甘州右衛(wèi)地。

清乾隆十五年(1750年)，置甘州府撫彝分府(稱撫彝廳)，治所撫彝(今蓼泉)，屬甘州府。

民國二年(1913年)改廳為縣，屬甘涼道;民國十八年(1929年)，改撫彝縣為臨澤縣，屬甘肅省第六行政督察區(qū)。

中華人民共和國成立后，臨澤縣隸于張掖分區(qū)。

1950年，改屬酒泉分區(qū)(后改稱專署)。

1952年，縣治由蓼泉遷沙河堡。

1955年，仍屬張掖專區(qū)。

1958年，撤銷縣制。

1962年，恢復(fù)，隸于張掖專區(qū)(后稱專區(qū)為地區(qū))，為張掖市轄縣。

2014年，撤銷鴨暖鄉(xiāng)、倪家營鄉(xiāng)，設(shè)立鴨暖鎮(zhèn)、倪家營鎮(zhèn)。

截至2010年，臨澤縣轄5鎮(zhèn)(沙河鎮(zhèn)、新華鎮(zhèn)、平川鎮(zhèn)、板橋鎮(zhèn)、蓼泉鎮(zhèn))，2鄉(xiāng)(鴨暖鄉(xiāng)、倪家營鄉(xiāng))，共71個行政村。